Каталитическое действие ванадия и его оксида (V) в процессах оксидирования полупроводников AIIIBV
Аннотация
Установлен каталитический синхронный механизм действия нанесённых на поверхность InP и GaAs наноразмерных слоев хемостимуляторов V и V2O5 в процессах термооксидирования этих полупроводников. Доказательством этого механизма являются резкое снижение эффективной энергии активации процессов, значительное увеличение скорости роста плёнок по сравнению с собственным оксидированием, регенерация активных частиц, содержащих V+5 (данные РФА, ИКС, ОЭС), независимость кинетических параметров процессов оксидирования от количества нанесённого катализатора. Термооксидирование InP в присутствии наноостровков V2O5 на начальном этапе процесса преимущественно происходит на этих каталитически активных центрах (данные РЭМ, ОЭС).
Ключевые слова
Об авторах
И. Я. Миттова
Воронежский государственный университет
Россия
Россия
Воронеж.
Е. В. Томина
Воронежский государственный университет
Россия
Россия
Воронеж.
А. А. Лапенко
Воронежский государственный университет
Россия
Россия
Воронеж.
Б. В. Сладкопевцев
Воронежский государственный университет
Россия
Россия
Воронеж.
Список литературы
1. Угай Я.А., Миттова И.Я. Ведущие научно-педагогические коллективы. Отв. ред. А.С. Сидоркин. Воронеж: Воронежский государственный университет, 2003, 335–351.
2. Сладкопевцев Б.В., Лапенко А.А., Самсонов А.А., Томина Е.В., Миттова И.Я. Транзитное и каталитическое окисление полупроводников AIIIBV с нанесенными наноразмерными слоями оксидов кобальта и ванадия различной толщины. Кон-денсированные среды и межфазные границы, 2010, Т. 12, № 3, 268-275.
3. Чоркендорф И., Наймантсведрайт Х. Современный катализ и химическая кинети-ка. Долгопрудный : Интеллект, 2010, 504 с.
4. Крылов О.В., Шуб Б.Р. Неравновесные процессы в катализе. М. Химия, 1990, 284 с.
5. Миттова И.Я., Томина Е.В., Лапенко А.А., Сладкопевцев Б.В. Синтез и каталити-ческие свойства наноостровков V2O5, полученных электровзрывным методом на поверхности кристаллов InP. Неорганические материалы. 2010, Т. 46, № 4, С. 441–446.
6. Венгер Е.Ф. Межфазные взаимодействия и механизмы деградации в структурах металл-InP и металл-GaAs. Киев, 1999, 234 с.
7. Бреза Ю. Физико-химические особенности формирования границ раздела перехо-дов металл–соединение A3B5 и возможности прогнозирования межфазных взаимо-действий. Поверхность,1998, № 5, 110–127.
8. Миттова И.Я., Пшестанчик В.Р. Каталитическое влияние оксида ванадия (V) на термическое окисление GaAs и InP. Докл. АН СССР, 1991, Т. 318, №. 1, 139–143.
9. Некрасов Б. В. Основы общей химии / Б. В. Некрасов. СПб, Лань, 2003, 656 с.
10. Накамото К. ИК спектры и спектры КР неорганических и координационных со-единений. М., Мир, 1991, 536 c.
11. Каталог 1997 - 2010 by JCPDS - International Centre for Diffraction Data
12. Yamaguchi M., Ando K. Thermal oxidation of InP and properties of oxide films. Jnl. Appl. Phys, 1980, Vol. 51, № 9, 5007–5012.
13. Лидин Р.А., Андреева Л.Л. Константы неорганических веществ. Справочник. М., Дрофа, 2003, 685 c.
14. Миттова И.Я., Свиридова В.В., Семенов В.Н., Кузнецова Т.Н. Ускорение форми-рования оксидных диэлектрических слоев на GaAs в присутствии V2O5 в газовой фазе. Изв. АН СССР, сер. Неорганич. материалы, 1991, Т.27, № 5, 897-900.
15. Миттова И.Я. Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей. Воронеж, Изд-во ВГУ, 1987, 200 с.
Рецензия
Для цитирования:
Миттова И.Я., Томина Е.В., Лапенко А.А., Сладкопевцев Б.В. Каталитическое действие ванадия и его оксида (V) в процессах оксидирования полупроводников AIIIBV. Наносистемы: физика, химия, математика. 2012;3(2):116-138.
For citation:
Mittova I.Ya., Tomina E.V., Lapenko A.A., Sladkopevtcev B.V. The catalytic action of vanadium and its oxide (V) in the oxidation processes of AIIIBV semiconductors. Nanosystems: Physics, Chemistry, Mathematics. 2012;3(2):116-138. (In Russ.)
Просмотров:
66
Послать статью по эл. почте 