Для цитирования:

 ,  ,  ,   . Наносистемы: физика, химия, математика. 2013;4(3):387-394.

For citation:

Moushumy N., Alameh K., Rajendran V., Lee Y.T. Silver-Nanoparticle-Based Etch Mask Control for Subwavelength Structure Development. Nanosystems: Physics, Chemistry, Mathematics. 2013;4(3):387-394.