3

НАНОСИСТЕМЫ: ФИЗИКА, ХИМИЯ, МАТЕМАТИКА, 2011, 2 (1), С. 23–39

МЕТОДЫ ЦИФРОВОЙ ГОЛОГРАФИЧЕСКОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТРИИ И ИХ ПРИМЕНЕНИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ НАНОПЕРЕМЕЩЕНИЙ

М. Е. Гусев(1), А.А. Воронин(1), В.С. Гуревич(2), А.М. Исаев(2), И.В. Алексеенко(3),
В. И. Редкоречев(4)

(1) Балтийский федеральный университет им. И. Канта, Калининград, Россия
(2) Научно-производственная фирма «Центр лазерныхте хнологий», Алматы, Казахстан
(3) Институт технической оптики Штуттгартского университета, Штуттгарт, Германия
(4) НПО «Академприбор», Ташкент, Узбекистан
miegus@mail.ru, vgurev@nursat.kz, ingwarr@mail.ru, vliv@tps.uz



В работе проведено сопоставление классических и цифровых методов голографической интерферометрии, показано преимущество цифровой голографии. Описаны новые цифровые методы, расширяющие возможности голографических измерений, диапазон исследований, наглядность представления результатов. Проанализированы все этапы регистрации, обработки и представления результатов измерений, проведены оценки требований к регистрирующим устройствам. Подробно рассмотрены проблемы автоматизации процесса голографических измерений, программно-аппаратные средства для создания полностью автоматизированного цифрового голографического измерительного комплекса. Приведены практические примеры использования цифровой голографии в механике, контрольно-измерительной технике, оптико-физических измерений. Показано, что данные цифровые голографические системы могут эффективно использоваться для измерений перемещений нанометрового диапазона.

Ключевые слова: голографическая интерферометрия, цифровая голография, виброметрия, наноизмерения, неразрушающий контроль, бесконтактная диагностика.

УДК 004.94

Скачать

Добавить комментарий

Ваш e-mail не будет опубликован. Обязательные поля помечены *

*

Можно использовать следующие HTML-теги и атрибуты: <a href="" title=""> <abbr title=""> <acronym title=""> <b> <blockquote cite=""> <cite> <code> <del datetime=""> <em> <i> <q cite=""> <strike> <strong>