НАНОСИСТЕМЫ: ФИЗИКА, ХИМИЯ, МАТЕМАТИКА, 2012, 3 (6), С. 134–145
ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ И МОДИФИКАЦИЯ НАНОСТРУКТУРНЫХ ПЛЕНОК НИТРИДА УГЛЕРОДА
А. М. Прудников – Донецкий физико-технический институт НАН Украины, Донецк, Украина
А. И. Линник – Донецкий физико-технический институт НАН Украины, Донецк, Украина
Р. В. Шалаев – Донецкий физико-технический институт НАН Украины, Донецк, Украина; sharos@fti.dn.ua
В. В. Румянцев – Донецкий физико-технический институт НАН Украины, Донецк, Украина
А. О. Кучерик – Владимирский государственный университет им. А. Г. и Н. Г. Столетовых, Владимир, Россия
А. П. Алоджанц – Владимирский государственный университет им. А. Г. и Н. Г. Столетовых, Владимир, Россия; alodjants@vlsu.ru
С. М. Аракелян – Владимирский государственный университет им. А. Г. и Н. Г. Столетовых, Владимир, Россия
Целью работы являлось экспериментальное получение и исследование пленок нитрида углерода. На основе методов термогравиметрического анализа (TGA), оптической спектроскопии и сканирующей электронной микроскопии выяснено, что алмазоподобные пленки CNx состоят из двух фаз: наноструктурной и аморфной. Выявлено ,что кратковременная термообработка алмазоподобной пленки на воздухе при 610 К приводит травлению аморфной фазы и формированию разделенной колонарной наноструктуры.
Ключевые слова: алмазоподобные пленки, нитрид углерода, термогравиметрический анализ.
УДК 538.958, 538.975
PACS 61.48.De, 68.37.Hk, 81.15.Cd