НАНОСИСТЕМЫ: ФИЗИКА, ХИМИЯ, МАТЕМАТИКА, 2012, 3 (2), С. 116–138
КАТАЛИТИЧЕСКОЕ ДЕЙСТВИЕ ВАНАДИЯ И ЕГО ОКСИДА (V) В ПРОЦЕССАХ ОКСИДИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ AIIIBV
Irina Mittova – Voronezh State University, Voronezh, Russia, professor, science of materials and industry of nanosystems department, grand PhD (chemical sciences), professor, imittova@mail.ru
Elena Tomina – Voronezh State University, Voronezh, Russia, docent, science of materials and industry of nanosystems department, PhD (chemical sciences), docent, tomina-e-v@yandex.ru
Alexander Lapenko – Voronezh State University, Voronezh, Russia, research associate, science of materials and industry of nanosystems department, grand PhD (chemical sciences), inorg@chem.vsu.ru
Boris Sladkopevtcev – Voronezh State University, Voronezh, Russia, science of materials and industry of nanosystems department, dp-kmins@yandex.ru
Установлен каталитический синхронный механизм действия нанесённых на поверхность InP и GaAs наноразмерных слоев хемостимуляторов V и V2O5 в процессах термооксидирования этих полу-проводников. Доказательством этого механизма являются резкое снижение эффективной энергии активации процессов, значительное увеличение скорости роста плёнок по сравнению с собственным оксидированием, регенерация активных частиц, содержащих V+5 (данные РФА, ИКС, ОЭС), независимость кинетических па-раметров процессов оксидирования от количества нанесённого катализатора. Термооксидирование InP в присутствии наноостровков V2O5 на начальном этапе процесса преимущественно происходит на этих ката-литически активных центрах (данные РЭМ, ОЭС).
Ключевые слова: гетероструктура, хемостимулированное окисление, транзит, катализ, арсенид галлия, фосфид индия.
УДК 542.943:546.881