Nanosystems: Phys. Chem. Math., 2024, 15 (6), 806–813
Synthesis and research of physical and chemical properties of InGaZn2O5 prepared by nitrate-glycolate gel decomposition method
Egor S. Anannikov – Moscow Institute of Physics and Technology, Dolgoprudny, Russia
Timofey A. Markin – Moscow Institute of Physics and Technology, Dolgoprudny, Russia
Ibrohimi A. Solizoda – Moscow Institute of Physics and Technology, Dolgoprudny; St. Petersburg State University, St. Petersburg; Tajik National University, Dushanbe, Tajikistan
Gleb M. Zirnik – Moscow Institute of Physics and Technology, Dolgoprudny, Russia
Daniil A. Uchaev – South Ural State University, Chelyabinsk, Russia
Alexander S. Chernukha – Moscow Institute of Physics and Technology, Dolgoprudny; St. Petersburg State University, St. Petersburg; South Ural State University, Chelyabinsk, Russia
Svetlana A. Gudkova – Moscow Institute of Physics and Technology, Dolgoprudny; St. Petersburg State University, St. Petersburg, Russia
Denis A. Vinnik – Moscow Institute of Physics and Technology, Dolgoprudny; St. Petersburg State University, St. Petersburg; South Ural State University, Chelyabinsk, Russia
Corresponding author: Denis A. Vinnik, vinnik.da@mipt.ru
DOI 10.17586/2220-8054-2024-15-6-806-813
ABSTRACT Indium-gallium-zinc oxide InGaZn2O5 was synthesized by nitrate-glycolate gel decomposition method using ethylene glycol as a complexing and chelating agent. In this work, SEM, EDS and UV-visdiffusion spectra of IGZO were obtained. InGaZn2O5 optical band gap was found using Kubelka–Munk transformation. The morphology of the particles was examined: at low sintering temperatures many micro-meter particles are observed, the sample is heterogeneous in crystalline state. At annealing temperatures above 800 °C a single-phase crystalline structure is observed.
KEYWORDS indium-gallium-zinc oxide, IGZO, InGaZn2O5, nitrate-glycolate gel, chelating reagent, ethylene glycol, chelate-nitrate method
ACKNOWLEDGEMENTS The research is supported by the Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation (state assignment) No. 075-03-2024-117, project number FSMG-2024-0028.
FOR CITATION Anannikov E.S., Markin T.A., Solizoda I.A., Zirnik G.M., Uchaev D.A., Chernukha A.S., Gudkova S.A., Vinnik D.A. Synthesis and research of physical and chemical properties of InGaZn2O5 prepared by nitrate-glycolate gel decomposition method. Nanosystems: Phys. Chem. Math., 2024, 15 (6), 806–813.
[In Russian] Ананников Е. С., Маркин Т. А., Солизода И. А., Зирник Г. М., Учаев Д А., Чернуха А. С., Гудкова С. А., Винник Д. А.
Синтез и исследование физико-химических свойств InGaZn2O5, полученного методом разложения нитратно-гликолевого геля
АННОТАЦИЯ Оксид индия-галлия-цинка InGaZn2O5 был синтезирован методом разложения нитратно-гликолевого геля с использованием этиленгликоля в качестве комплексообразующего и хелатирующего агента. В данной работе были получены данные с СЭМ, ЭДС и УФ-вид-диффузионные спектры IGZO. Ширина запрещённой зоны InGaZn2O5 была найдена на основе преобразования Кубелки-Мунка. Исследована морфология частиц: при низких температурах спекания наблюдается множество микрочастиц, образец неоднороден по кристаллическому состоянию. При температурах отжига выше 800 °C наблюдается однофазная кристаллическая структура.
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА оксид индия-галлия-цинка, IGZO, InGaZn2O5, нитратно-гликолевый гель, хелатирующий реагент, этиленгликоль, хелатно-нитратный метод.
